| 摘要 |
【课题】本发明系为提案一种基板处理装置，系为，第1，防止乱流或储液，使处理无不均而呈均匀化，进而提升印刷线路基板之精度的同时，第2，防止电路伤害等麻烦，以大幅减少印刷线路基板之不良、提升成品率。【解决手段】此种基板处理装置5系被使用在印刷线路基板之制造程序中。且将印刷线路基板材料P在表面Q或里面F之电路形成面R上以无接触状态下藉由输送装置所搬送，同时将处理液S由喷射喷嘴部4喷射的同时，将限制液E由前后之限制液吹出部6喷出。藉此，针对于电路形成面R而使限制液区域形成在沿着左右之宽度方向W上，处理液S系以该限制液区域所夹持、限制，而沿着左右之宽度方向W形成流路、且在进行所定之处理后由左右两侧流下。 |
