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发明名称 SELECTIVE ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPS629638(A) 申请公布日期 1987.01.17
申请号 JP19850148895 申请日期 1985.07.05
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 OOTA KIYOSHI
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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