다성분 필름을 증착시키기 위한 방법 및 전구체 조성물이 본원에 기재된다. 한 구체예에서, 본원에 기재된 방법 및 조성물은 상 변화 메모리 및 광전지 장치를 위해서 원자층 증착(ALD)을 통한 게르마늄 텔루륨, 안티몬 게르마늄, 및 게르마늄 안티몬 텔루륨(GST) 필름과 같은 게르마늄-함유 필름 및/또는 다른 게르마늄, 텔루륨 및 셀레늄 기반 금속 화합물을 층착시키는데 사용된다. 본 구체예 또는 다른 구체예에서, 사용된 Ge 전구체는 트리클로로게르만을 포함한다.
申请公布号
KR101634742(B1)
申请公布日期
2016.07.11
申请号
KR20140043785
申请日期
2014.04.11
申请人
에어 프로덕츠 앤드 케미칼스, 인코오포레이티드
发明人
시아오, 만차오;뷰캐넌, 이아인;김, 무-성;이바노브, 세르게이 블라디미로비치;레이, 신지안;황, 철성;권, 태홍
