RESONANT SENSOR AND METHOD OF MAKING SAME

摘要

Des structures de capteurs résonants microminiaturisés sont produites par des techniques de micro-usinage/microfabrication, ces structures comprenant des dépôts à film mince de matériaux piézo-électriques. Ces dépôts piézo-électriques peuvent être excités électriquement par l'inclusion de cheminements conducteurs métallisés pendant la fabrication, ou optiquement. On fait varier la fréquence de résonance de la structure du capteur en le soumettant à une variable physique, ou ''mesurande'' telle qu'une pression, une température, un débit, etc. De même, il est possible de détecter électriquement ou optiquement la fréquence de résonance des dispositifs. Les structures résonantes microminiaturisées comprennent des rubans (37) et des câbles (35), des poutres creuses et des poutres creuses cantilever, ainsi que des structures résonantes à poutre double à extrémités simple et double, telles que des fourches d'accord.