| 摘要 |
그래핀의 전사 방법에 관한 것으로, 희생층 상에 위치하는 그래핀을 준비하는 단계; 상기 그래핀 상에 금속 지지층을 증착시키는 단계; 상기 희생층을 식각시키는 단계; 상기 희생층이 식각된 금속 지지층 표면에 위치하는 그래핀을 용액에 부유시키는 단계; 상기 용액에 부유된 그래핀을 도장을 이용하여 스킴(skim)하는 단계; 상기 금속 지지층을 제거하는 단계; 및 상기 도장 표면에 위치하는 그래핀을 대상 기판으로 전사시키는 단계;를 포함하는 그래핀의 전사 방법을 제공할 수 있다. |
