发明名称 PROCEDE DE DEVELOPPEMENT D'UN FILM D'UN MONOCRISTAL GAAS SOUS LA FORME D'UNE SEULE COUCHE MOLECULAIRE
摘要 <P>A.PROCEDE DE DEVELOPPEMENT D'UN FILM D'UN MONOCRISTAL GAAS, SOUS LA FORME D'UNE SEULE COUCHE MOLECULAIRE.</P><P>B.PROCEDE CARACTERISE EN CE QU'ON REALISE LE VIDE A L'INTERIEUR DU RESERVOIR 1 DE DEVELOPPEMENT A UNE PRESSION PREDETERMINEE; ON INTRODUIT LE GAZ TEG TRIETHYLGALLIUM 8 DANS CE RESERVOIR DE DEVELOPPEMENT 1 SOUS UNE PRESSION PREDETERMINEE PENDANTUN TEMPS PREDETERMINE, ET APRES L'EVACUATION DU GAZ TEG, ON INTRODUIT LE GAZ ASH (ARSINE) 9 DANS CE RESERVOIR DE DEVELOPPEMENT SOUS UNE PRESSION PREDETERMINEE PENDANT UN TEMPS PREDETERMINE ET ON REPETE LE CYCLE POUR DEVELOPPER AU MOINS PRATIQUEMENT UNE COUCHE MOLECULAIRE POUR FORMER UN FILM D'UN MONOCRISTAL GAAS D'EPAISSEUR VOULUE A LA PRECISION D'UNE COUCHE MOLECULAIRE.</P><P>C.L'INVENTION CONCERNE UN PROCEDE DE DEVELOPPEMENT D'UN FILM D'UN MONOCRISTAL GAAS SOUS LA FORME D'UNE SEULE COUCHE MOLECULAIRE.</P>
申请公布号 FR2582023(A1) 申请公布日期 1986.11.21
申请号 FR19860006988 申请日期 1986.05.15
申请人 RESEARCH DEVELOPMENT CORP JAPAN 发明人 JUNICHI NISHIZAWA ET HITOSHI ABE;ABE HITOSHI
分类号 H01L21/205;C30B25/02 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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