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发明名称 REAKTOR ZUM ERZEUGEN VON AUS DAEMPFEN ERZEUGTEN NIEDERSCHLAEGEN AUF EINEM SUBSTRAT
摘要
申请公布号 DE3601711(A1) 申请公布日期 1986.11.20
申请号 DE19863601711 申请日期 1986.01.22
申请人 MITEL CORP. 发明人 BRIEN,GUY;C.D. DARWALL,EDWARD;CLOUTIER,RICHARD;SZOLGYEMY,LASZLO
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C23C16/46;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/314;(IPC1-7):C23C16/44;C03C17/02 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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