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发明名称 COMPOSITIONS A BASE D'ACIDE ALKYLARYLSULFONIQUE, D'ACIDE SULFONIQUE AROMATIQUE ET DE SOLVANT HYDROCARBONE AROMATIQUE EXEMPT D'HALOGENE POUR L'ENLEVEMENT DE PRODUITS PHOTORESISTANTS A PARTIR DE SUBSTRATS MINERAUX
摘要
申请公布号 FR2426926(B1) 申请公布日期 1986.11.07
申请号 FR19790011757 申请日期 1979.05.09
申请人 ALLIED CHEMICAL CORP 发明人
分类号 C09K3/00;C11D1/22;C11D3/34;C11D3/43;G03F7/42;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03C5/38;G03C1/68 主分类号 C09K3/00
代理机构 代理人
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