| 发明名称 |
SEAL APPARATUS IN REACTOR FOR CONTINUOUS LOW TEMPERATURE PLASMA TREATMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS61239078(A) |
申请公布日期 |
1986.10.24 |
| 申请号 |
JP19850077125 |
申请日期 |
1985.04.11 |
| 申请人 |
SANDO IRON WORKS CO LTD;UNITIKA LTD |
发明人 |
SANTO YOSHIKAZU;GOTO TOKUKI;TANAKA ITSUO;ISHIDOSHIRO HIROSHI |
| 分类号 |
C23C16/50;D06B19/00;D06B23/16 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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