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发明名称 ROBOT FOR CLEAN ROOM
摘要
申请公布号 JPS61203276(A) 申请公布日期 1986.09.09
申请号 JP19850038916 申请日期 1985.03.01
申请人 FANUC LTD 发明人 TOYODA KENICHI;HAMURA MASAYUKI
分类号 B25J19/00;B25J9/04 主分类号 B25J19/00
代理机构 代理人
主权项
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