发明名称 |
APPARATUS FOR OBSERVING AND ALIGNING OBJECTS |
摘要 |
|
申请公布号 |
GB2133874(B) |
申请公布日期 |
1986.09.03 |
申请号 |
GB19830031674 |
申请日期 |
1983.11.28 |
申请人 |
* CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
AKIYOSHI * SUZUKI;HIDEKI * INA |
分类号 |
G01B11/00;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G01B11/27 |
主分类号 |
G01B11/00 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|