FABRICATION OF DEVICES INVOLVING LITHOGRAPHIC PROCEDURES.

摘要

Dans un procédé de fabrication de dispositifs, on utilise des compositions nouvelles extrêmement utiles pour esquisser des matériaux. Ces compositions comprennent un polymère ayant des segments d'un première entité longs d'au moins 10 unités monomères et des segments d'une deuxième entité longs eux aussi d'au moins dix unités monomères. Les unités monomères sont choisies pour que chaque type de segment fournisse une caractéristique chimique spécifique au polymère.