发明名称
摘要
申请公布号 JPS6137145(B2) 申请公布日期 1986.08.22
申请号 JP19770128988 申请日期 1977.10.27
申请人 HITACHI LTD 发明人 YAMADA YUKIO;ITAHANA HIROSHI
分类号 B61C17/00;H01L23/467 主分类号 B61C17/00
代理机构 代理人
主权项
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