| 发明名称 |
GAS COLLECTOR IN CHEMICAL VAPOR DEPOSITION APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS61179866(A) |
申请公布日期 |
1986.08.12 |
| 申请号 |
JP19860013966 |
申请日期 |
1986.01.27 |
| 申请人 |
ANIKON INC |
发明人 |
BURAIANTO EI KIYANBERU;DEIRU AARU DEYUBOISU;RARUFU EFU MANRIKUETSU;NIKORASU II MIRAA |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/455;C23C16/48;H01L21/205;H01L21/285 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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