发明名称 METHOD OF MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE INCLUDING A MIS FIELD EFFECT TRANSISTOR
摘要
申请公布号 EP0106458(A3) 申请公布日期 1986.07.16
申请号 EP19830304843 申请日期 1983.08.22
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 KAWABUCHI, KATSUHIRO
分类号 H01L21/8234;H01L21/336;H01L27/088;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/49;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/28;H01L29/62 主分类号 H01L21/8234
代理机构 代理人
主权项
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