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发明名称
摘要
申请公布号 DE3235108(C2) 申请公布日期 1986.06.19
申请号 DE19823235108 申请日期 1982.09.22
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 SHIRAISHI, HIROSHI, HACHIOJI, JP
分类号 G21K4/00;G03C1/00;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):G03C1/72;G03C1/495;G03F7/10 主分类号 G21K4/00
代理机构 代理人
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