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发明名称 METHOD OF FILLING GROOVE FOR SEPARATION OF DIELECTRIC
摘要
申请公布号 JPS61102742(A) 申请公布日期 1986.05.21
申请号 JP19850155292 申请日期 1985.07.16
申请人 INTERNATL BUSINESS MACH CORP 发明人 INGU INGU CHIENGU;DANIERU JIYOSEFU DAUSON;JIEEMUZU EKONOMII;SARII AN SUWANSON;ROBAATO JIEEMUZU TSUUIIGU
分类号 H01L21/76;H01L21/312;H01L21/762 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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