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发明名称 AN ELLIPSOMETER
摘要
申请公布号 EP0144115(A3) 申请公布日期 1986.05.07
申请号 EP19840303871 申请日期 1984.06.07
申请人 TOHOKU UNIVERSITY 发明人 YAMAMOTO, MASAKI
分类号 G01J4/04;G01J4/00;G01N21/21;(IPC1-7):G01N21/21;G01B11/06 主分类号 G01J4/04
代理机构 代理人
主权项
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