微型电动机械器件、喷液头及其制造方法

摘要

一种微型电动机械器件，它包含具有固定的支持部分和可移动部分的可移动元件以及具有可移动元件的衬底，此可移动元件被支持成与衬底有一特定的间隙。对于此器件，为可移动部分提供间隙的金属层被可移动元件的固定支持部分覆盖，而其余部分被用作布线层。此布线层被电连接到为衬底提供的多个布线。用这样安排的结构，电阻被做得明显地小。电效率相应地增强。采用此器件的装置也被做得更小，其制造成本也被降低。

主权项

1.一种微型电动机械器件，它包含：具有固定的支持部分和可移动部分的可移动元件；以及具有所述可移动元件的衬底，所述可移动元件被支持成与所述衬底有一特定的间隙，其中用来为所述可移动部分提供所述间隙的金属层，被所述可移动元件的所述固定支持部分覆盖，还用作布线层，所述布线层被提供用来电连接所述衬底和外部电路。