发明名称 METHOD OF MANUFACTURING A METALLISATION ON A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 EP0079459(B1) 申请公布日期 1986.05.07
申请号 EP19820109295 申请日期 1982.10.07
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 KINZEL, HERMANN, ING.-GRAD.
分类号 H01L21/285;H01L21/306;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/90;H01L21/60 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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