| 发明名称 |
APPARATUS FOR NONDESTRUCTIVELY MEASURING CHARACTERISTICS OF A SEMICONDUCTOR WAFER HAVING A JUNCTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0077021(B1) |
申请公布日期 |
1986.05.07 |
| 申请号 |
EP19820109245 |
申请日期 |
1982.10.06 |
| 申请人 |
HITACHI, LTD. |
发明人 |
MUNAKATA, CHUSUKE;HONMA, NORIAKI |
| 分类号 |
G01R31/265;(IPC1-7):G01R31/26 |
主分类号 |
G01R31/265 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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