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发明名称 FORMATION OF CONDUCTIVE PATTERN
摘要
申请公布号 JPS6185879(A) 申请公布日期 1986.05.01
申请号 JP19850101697 申请日期 1985.05.15
申请人 INTERNATL BUSINESS MACH CORP 发明人 KAREN HIRU BURAUN;DEEBITSUDO FURANKU MUUA;BAANAADO YAKOBU KOONERISU BUAN DAA HOOBUN JIYUNIA
分类号 H01L21/306;H01L21/027;H01L39/24 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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