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发明名称 MEASURING DEVICE FOR RESOLUTION OF INTERFEROMETER
摘要
申请公布号 JPS6170428(A) 申请公布日期 1986.04.11
申请号 JP19840169890 申请日期 1984.08.14
申请人 GCA CORP 发明人 ROBAATO SHII MUUA
分类号 G01J3/45;G01B9/02;G01J3/26 主分类号 G01J3/45
代理机构 代理人
主权项
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