发明名称 VERFAHREN ZUM ENTFERNEN EINER SCHICHTFOERMIGEN AUFLAGE VON DER OBERFLAECHE EINES WERKSTUECKS
摘要
申请公布号 DE1765608(B1) 申请公布日期 1972.04.27
申请号 DE19681765608 申请日期 1968.06.19
申请人 WESTERN ELECTRIC CO 发明人
分类号 G03F7/42;H01L21/00;H01L23/29;(IPC1-7):05K3/22 主分类号 G03F7/42
代理机构 代理人
主权项
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