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发明名称 SYSTEM FOR VAPOR GROWTH
摘要
申请公布号 JPS6163599(A) 申请公布日期 1986.04.01
申请号 JP19840185832 申请日期 1984.09.05
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 BAN YUZABURO;HASE NOBUYASU
分类号 C30B25/14;H01L21/36 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
主权项
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