| 摘要 |
<p>Dispositif assimilable à une machine industrielle ou de laboratoire destinée à la couverture en couches minces de substrats (2) sans qu'ils soient nécessairement reliés à une masse électrique du système par des produits photo-sensibles ou non au moyen d'un transfert de ceux-ci par voie d'atomisation centrifuge et par la création d'un champ électrostatique. Les substrats (2) sont transportés au-dessus d'une électrode (3) par l'intermédiaire d'une bande (1) ne nuisant pas à l'utilisation du champ électrostatique, et constituée d'un bobineau de papier (15) mince consommable rebobiné à la sortie du dispositif, permettant son remplacement, avec adjonction d'un séchage. Le dispositif selon l'invention est particulièrement destiné à l'industrie électronique.</p> |
