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发明名称
摘要
申请公布号
JPS617253(Y2)
申请公布日期
1986.03.05
申请号
JP19800167146U
申请日期
1980.11.20
申请人
发明人
分类号
C30B19/00;C30B19/02;C30B19/10;H01L21/02;H01L21/208;(IPC1-7):C30B19/10
主分类号
C30B19/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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