| 发明名称 |
TESTING PROCESS OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6143441(A) |
申请公布日期 |
1986.03.03 |
| 申请号 |
JP19840166709 |
申请日期 |
1984.08.07 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
TAWARA TSUGIO;DOI SUMIO;OTSUKI TEIJIRO;HIGAKI OSAMU;FURUTA ISAO |
| 分类号 |
H01L21/66;G01R31/00;G01R31/26 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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