发明名称 VERFAHREN ZUR FEHLERERKENNUNG AN DEFINIERTEN STRUKTUREN
摘要
申请公布号 DE3427981(A1) 申请公布日期 1986.02.06
申请号 DE19843427981 申请日期 1984.07.28
申请人 TELEFUNKEN ELECTRONIC GMBH 发明人 POLOMSKY,HORST;JAEGER,ROLF
分类号 G01N21/956;G06T7/00;(IPC1-7):G01B21/30;G01B7/34;G01B11/30;H01L21/66;G06K9/64 主分类号 G01N21/956
代理机构 代理人
主权项
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