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发明名称 ALIGNMENT MARKS ON SEMICONDUCTOR WAFERS AND METHOD OF MANUFACTURING THE MARKS
摘要
申请公布号 EP0126621(A3) 申请公布日期 1986.01.15
申请号 EP19840303326 申请日期 1984.05.16
申请人 OKI ELECTRIC INDUSTRY COMPANY, LIMITED 发明人 ITOH, YOSHIO C/O OKI ELECTRIC INDUSTRY CO. LTD.;OHTSUKA, HIROSHI C/O OKI ELEC. IND. CO. LTD.;NISHIMURO, TADASHI C/O OKI ELEC. IND. CO. LTD.;MITSUTOMI, HISAMITSU C/O MIYAZAKI OKI EL. CO.
分类号 G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30;H01L23/544;(IPC1-7):H01L23/54 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人
主权项
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