发明名称
摘要
申请公布号 JPS61952(Y2) 申请公布日期 1986.01.13
申请号 JP19800110382U 申请日期 1980.08.04
申请人 发明人
分类号 B05C9/00;B05C17/06;H01L21/02;H01L21/52;H05K3/12;H05K13/00;(IPC1-7):B05C17/06 主分类号 B05C9/00
代理机构 代理人
主权项
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