发明名称 SCANNING ELECTRON MICROSCOPE, MICROSCOPE METHOD, AND INTERACTIVE INPUT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11250850(A) 申请公布日期 1999.09.17
申请号 JP19980093934 申请日期 1998.03.02
申请人 HITACHI LTD 发明人 NAKAMURA KUNIYASU;KAKIBAYASHI HIROSHI;ICHIHASHI MIKIO;ISAGOZAWA SHIGETO;SATO YUJI;HASHIMOTO TAKAHITO
分类号 H01J37/22;H01J37/04;H01J37/147;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/28 主分类号 H01J37/22
代理机构 代理人
主权项
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