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发明名称 VERTICAL HOT WALL TYPE CVD REACTOR
摘要
申请公布号 JPS612321(A) 申请公布日期 1986.01.08
申请号 JP19850121391 申请日期 1985.06.04
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INC 发明人 ROBAATO JII MATSUSEI
分类号 H01L21/205;C23C16/458;C30B25/08;C30B25/10;C30B25/12;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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