发明名称 PROCEDE DE PRODUCTION DE SEMI-CONDUCTEURS DOPES DANS UN SYSTEME FERME, PAR CROISSANCE EPITAXIALE
摘要
申请公布号 FR2504943(B1) 申请公布日期 1985.12.13
申请号 FR19820007129 申请日期 1982.04.26
申请人 CONSORTIUM ELEKTROCHEMISCHE IND 发明人 CLAUS HOLM ET ERHARD SIRTL;SIRTL ERHARD
分类号 C30B25/22;(IPC1-7):C30B23/06;C30B31/06;H01L21/203;H01L31/18 主分类号 C30B25/22
代理机构 代理人
主权项
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