| 摘要 |
1. Напылительная система, содержащая цилиндрическую цель, которая содержит кольцевую окружную периферию, наружный диаметр, конец, осевую длину и, вдоль осевой длины, концевой участок, прилегающий к концу цели, и шпиндель концевого блока, прилегающий к концу цели, причем система содержит: ! паз, выполненный по окружной периферии цели в первом месте вдоль осевой длины цели на концевом участке цели; ! стопорное кольцо в пазу; и ! фланцевое кольцо, установленное на окружной периферии цели во втором месте вдоль осевой длины цели на концевом участке цели, причем первое место находится ближе к концу цели, чем второе место; ! стопорное кольцо, способное предотвратить перемещение фланцевого кольца вдоль осевой длины цели через первое место в направлении конца цели, при этом, иначе, фланцевое кольцо может свободно перемещаться вдоль осевой длины цели на концевом участке цели; ! зажим, достаточный для фиксации фланцевого кольца и шпинделя относительно друг друга. ! 2. Система по п.1, в которой фланцевое кольцо имеет внутренний диаметр, который больше или равен наружному диаметру концевого участка цели. ! 3. Система по п.1, в которой стопорное кольцо имеет внутренний диаметр, который меньше наружного диаметра цели на конечном участке цели, и наружный диаметр, который больше наружного диаметра цели на конечном участке цели. ! 4. Система по п.1, в которой зажим содержит зажимное кольцо, достаточное для приложения усилия, направленного внутрь как в радиальном направлении, так и вдоль оси цели. ! 5. Система по п.1, в которой концевой участок цели содержит спиральный паз, и первое место находится между спиральным пазом и концом цели. ! 6. Система |
