发明名称 A METHOD OF MANUFACTURING A CURVED DIFFRACTION GRATING STRUCTURE
摘要
申请公布号 DE2967536(D1) 申请公布日期 1985.11.28
申请号 DE19792967536 申请日期 1979.07.16
申请人 NIPPON TELEGRAPH AND TELEPHONE PUBLIC CORPORATION 发明人 FUJII, YOHJI;MINOWA, JUNICHIRO
分类号 G02B5/18;H01L21/306;(IPC1-7):G02B5/18 主分类号 G02B5/18
代理机构 代理人
主权项
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