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发明名称
摘要
申请公布号 JPS60176546(U) 申请公布日期 1985.11.22
申请号 JP19840064065U 申请日期 1984.04.28
申请人 发明人
分类号 C23C14/04;C23C14/22;H01L21/285;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
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