| 摘要 |
<P>CETTE INSTALLATION COMPORTE AU MOINS DEUX POSTES 2, 3 DISPOSES L'UN A COTE DE L'AUTRE, DONT UN POSTE DE CHARGEMENT, POUVANT SERVIR EN MEME TEMPS DE POSTE DE GRAVURE, ET UN POSTE 3 DE DEPOT DE COUCHES. UNE CHAMBRE A VIDE 4 EST EQUIPEE D'AU MOINS UNE CATHODE DE PULVERISATION 12 ET D'UN PORTE-SUBSTRATS 21 DEPLACABLE EN VA-ET-VIENT ENTRE LES POSTES 2, 3. SELON L'INVENTION, LE PORTE-SUBSTRATS 21 EST MONTE EN PORTE A FAUX, AU MOYEN D'UN BRAS 20, A UNE MONTURE DE PIVOTEMENT 17 QUI FAIT SAILLIE A L'INTERIEUR DE LA CHAMBRE A VIDE PAR UNE TRAVERSEE ISOLEE. UN CIRCUIT DE REFROIDISSEMENT 27 SE PROLONGE A TRAVERS LA MONTURE 17 JUSQUE DANS LE PORTE-SUBSTRATS 21.</P>
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