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发明名称 EQUIPMENT FOR FEEDING EVAPORATORS IN VAPOUR-DEPOSITION APPARATUSES
摘要
申请公布号 DE3265909(D1) 申请公布日期 1985.10.03
申请号 DE19823265909 申请日期 1982.12.14
申请人 GFO GESELLSCHAFT FUR OBERFLACHENTECHNIK M.B.H. 发明人 RACHOR, LOTHAR;EICHINGER, ERWIN, DIPL.-ING.;SCHEYRER, PETER, DIPL.-ING.;SEIF, RUDOLF, DR. DR. ING.
分类号 C23C14/24;C23C14/50;(IPC1-7):C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
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