| 发明名称 |
DEVICE FOR PROGRAMMED CONTROL OF COORDINATE TRAVELS FOR PROCESSES FOR ASSEMBLING INTEGRATED CIRCUITS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SU1179272(A1) |
申请公布日期 |
1985.09.15 |
| 申请号 |
SU19833670059 |
申请日期 |
1983.12.07 |
| 申请人 |
INST ELEKTRONIKI AN BSSR |
发明人 |
KOLESHKO VLADIMIR M,SU;URBANOVICH VIKTOR K,SU |
| 分类号 |
G05B19/18;(IPC1-7):G05B19/18 |
主分类号 |
G05B19/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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