发明名称 반도체 기질에의 붕소도우펀트 용착 및 확산공정
摘要 내용 없음
申请公布号 KR850005132(A) 申请公布日期 1985.08.21
申请号 KR19840007864 申请日期 1984.12.12
申请人 null, null 发明人 부루스 위고 저스티스 (외 1)
分类号 C30B31/02;H01L21/225 主分类号 C30B31/02
代理机构 代理人
主权项
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