| 发明名称 |
Planar magnetron sputtering device |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
GB2152953(A) |
申请公布日期 |
1985.08.14 |
| 申请号 |
GB19840023020 |
申请日期 |
1984.09.12 |
| 申请人 |
* UNIV BRITISH COLUMBIA |
发明人 |
ROBERT R * PARSONS;RICHARD * MCMAHON;MICHAEL L * THEWALT |
| 分类号 |
C23C14/36;C23C14/35;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/36 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
