| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE FABRICATED USING SELF ALIGNMENT TECHNIQUE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
GB2106319(B) |
申请公布日期 |
1985.07.31 |
| 申请号 |
GB19820027355 |
申请日期 |
1982.09.24 |
| 申请人 |
* HITACHI LTD |
发明人 |
TAKANORI * NISHIMURA;KENJU * KANERO;TAKAHIRO * OKABE;SETSO * OGURA;MINORU * NAGATA;SATOSHI * KUDO;YUTAKA * OKADA |
| 分类号 |
H01L21/822;H01L21/02;H01L21/033;H01L21/28;H01L21/331;H01L21/8226;H01L27/02;H01L27/04;H01L27/082;H01L29/10;H01L29/417;H01L29/423;H01L29/73;H01L29/735;H01L29/78;H01L29/872;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
H01L21/822 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
