| 发明名称 |
REACTOR FOR USING IN CHEMICAL VAPOR PHASE ACCUMULATING STEP |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS60138910(A) |
申请公布日期 |
1985.07.23 |
| 申请号 |
JP19840244695 |
申请日期 |
1984.11.21 |
| 申请人 |
GENERAL INSTRUMENT CORP |
发明人 |
DENISU GAABISU;JIYOSEFU WAI CHIEN;AMEDEO JIEEMUZU GURANATA;ROBAATO SHII HERAA |
| 分类号 |
C23C16/00;C23C16/44;C23C16/458;H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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