发明名称 IMPROVED INSTALLATION FOR FLOATING TRANSPORT AND PROCESSING OF SUBSTRATES.
摘要 Installation améliorée de traitement (10) pour le transport et le traitement flottant de substrats (30), formée de convoyeurs successifs (18) séparés par des fentes de traitement (28) et d'un ruban (80) servant de mécanisme de transport pour lesdits substrats (30), grâce à quoi les mécanismes de tension (24), (96) et (104) empêchent une déformation inadmissible des convoyeurs (18) et du ruban (80) pendant le traitement accompagné d'un développement de chaleur.
申请公布号 EP0145766(A1) 申请公布日期 1985.06.26
申请号 EP19840902467 申请日期 1984.06.15
申请人 BOK, EDWARD 发明人 BOK, EDWARD
分类号 B65H5/22;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/67;H01L21/677;H05K13/02;(IPC1-7):H05K13/02 主分类号 B65H5/22
代理机构 代理人
主权项
地址