发明名称 |
PLASMA JET CLEANING APPARATUS AND METHOD |
摘要 |
|
申请公布号 |
GB2148171(A) |
申请公布日期 |
1985.05.30 |
申请号 |
GB19840020654 |
申请日期 |
1984.08.14 |
申请人 |
* GENERAL ELECTRIC COMPANY |
发明人 |
MICHAEL FRANCIS * COLLINS;FRANCIS DICKINSON * LORDI;RONALD WILLIAM * SMITH |
分类号 |
C23G5/00;B08B5/02;B08B7/00;B23K7/06;B23K9/00;B23K10/00;H01J37/30;(IPC1-7):B23K9/225 |
主分类号 |
C23G5/00 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|