发明名称 PLASMA JET CLEANING APPARATUS AND METHOD
摘要
申请公布号 GB2148171(A) 申请公布日期 1985.05.30
申请号 GB19840020654 申请日期 1984.08.14
申请人 * GENERAL ELECTRIC COMPANY 发明人 MICHAEL FRANCIS * COLLINS;FRANCIS DICKINSON * LORDI;RONALD WILLIAM * SMITH
分类号 C23G5/00;B08B5/02;B08B7/00;B23K7/06;B23K9/00;B23K10/00;H01J37/30;(IPC1-7):B23K9/225 主分类号 C23G5/00
代理机构 代理人
主权项
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