发明名称 |
PRODUCTION OF HALOGENATED SILANE OR MONOSILANE HAVING LOW HALOGENATION DEGREE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS6077120(A) |
申请公布日期 |
1985.05.01 |
申请号 |
JP19830184968 |
申请日期 |
1983.10.05 |
申请人 |
TOKUYAMA SODA KK |
发明人 |
OZAKI YASUTAKA;TAKADA TOSHIYUKI;HIRASHIMA TAKEYUKI |
分类号 |
C01B33/04;B01J31/00;B01J31/02;B01J31/08;C01B33/107 |
主分类号 |
C01B33/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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