Process and device for mutually aligning objects.

摘要

Ausrichtmarken in Form periodischer Gitter (1a, 2a) werden von einer Fernsehkamera (20) abgetastet und der relative Phasenunterschied der beiden Abtastsignale elektronisch mit digitalen oder analogen Mitteln bestimmt. Im ersten Fall errechnet ein Mikroprozessor (26) mindestens die Grundwelle des Fourierspektrums von jedem Abtastsignal, um aus deren Phasenlage die Ausrichtung zu errechnen. Werden Gitter mit verschiedenen Gitterkonstanten auf der Maske bzw. dem Wafer verwendet, so entstehen durch Überlagerung der ermittelten Grundwellen Schwebungen, die ein sehr empfindliches Maß für Ausrichtfehler darstellen. Bei der analogen Auswertung wird eines der Abtastsignale entsprechend der zu unterschiedlichen Zeiten erfolgenden Zeilenabtastung verzögert, bevor es zusammen mit dem anderen Signal einem phasenempfindlichen Verstärker zugeführt wird, um die Differenzphase zu bestimmen.