| 发明名称 |
Magnetron sputter coating source for both magnetic and nonmagnetic target materials |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2144772(A) |
申请公布日期 |
1985.03.13 |
| 申请号 |
GB19840018028 |
申请日期 |
1984.07.16 |
| 申请人 |
* VARIAN ASSOCIATES INC |
发明人 |
DONALD REX * BOYS;WALTER EDGAR * GRAVES |
| 分类号 |
H01J9/02;C23C14/35;C23C14/36;H01J23/027;H01J37/34 |
主分类号 |
H01J9/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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