| 发明名称 |
CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU3256484(A) |
申请公布日期 |
1985.03.07 |
| 申请号 |
AU19840032564 |
申请日期 |
1984.08.30 |
| 申请人 |
ANICON INC. |
发明人 |
BRYANT A. CAMPBELL;DALE R. DUBOIS;RALPH F. MANRIQUEZ;NICHOLAS E. MILLER |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/455;C23C16/48;H01L21/205;H01L21/285 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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